真空斷路器的故障處理和維護方法如下：

真空泡真空度降低：真空斷路器在真空泡內開斷電流并進行滅弧，而真空斷路器本身沒有定性、定量監測真空度特性的裝置，所以真空度降低故障為隱性故障，其危險程度遠遠大于顯性故障。真空度降低的主要原因有真空泡的材質或制作工藝存在問題，真空泡本身存在微小漏點；真空泡內波形管的材質或制作工藝存在問題，多次操作后出現漏點；分體式真空斷路器，如使用電磁式操作機構的真空斷路器，在操作時，由于操作連桿的距離比較大，直接影響開關的同期、彈跳、超行程等特性，使真空度降低的速度加快。

操動機構故障：操動機構故障的原因包括操作電壓太低、接觸行程太大、輔助開關的合閘聯鎖電接點過早打開、CD17型機構或彈簧機構的操動機構的半軸與掣子扣子接量太小以及CD10操動機構的“一”字板未調整好等。

合閘線圈被異物卡阻：在操作過程中，如遇到合閘線圈被異物卡阻的問題，需要先將異物吹走，然后用外力將線圈向下拉，如果情況嚴重則可以借助其他的操動機構合閘。